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偏光素子

• 偏光ビ－ムスプリッタ（PBS）
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特殊レンズ（大口径・非球面）

• 高精度大口径レンズ
• 高精度非球面ミラー

UV対物レンズ

• マスク・ウェハ検査用対物レンズ
• 高NA紫外対物レンズ（接着剤不使用品有）
• （開発中）DUV色消し対物レンズ

生物顕微鏡用対物レンズ

• 長作動距離液浸対物レンズ
• カスタム対物レンズ

fθレンズ

• fθレンズ（ファイバーレーザ用・YAGレーザ用）

集光レンズ

• UV, DUV集光レンズ（355nm, 266nm, 248nm）

光学ユニット

• バリアブル･アッテネータ

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