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バリアブル・アッテネータ(可変減衰器)
出力を連続的に可変
レーザの直線偏光の特性を利用して出力を減衰させるバリアブルアッテネータです。レーザ光源と組み合わせて使用することで、ビームを安定させたままで出力を連続的に可変させることができます。
対応波長の標準ラインナップとして266nm、355nm、532nmを用意しております。その他、深紫外、紫外、可視、近赤外、赤外の波長に対しても特注対応致します。
応用分野
レーザー加工機、太陽電池製造・検査装置、半導体製造・検査装置、液晶製造・検査装置をはじめとする各種のレーザアプリケーション
製品例
型番 | 波長 | 透過率可変範囲 | 有効径 | 光軸高さ | レーザ耐力(参考値) | 最大入射パワー |
---|---|---|---|---|---|---|
RWH-266HPⅡ | 266nm | 2%~90% | Φ11mm | 40mm | 1J/cm2(10ns10Hz) | 20W |
RWH-355HPⅡ | 355nm | 2%~92% | Φ11mm | 40mm | 3J/cm2(10ns10Hz) | 20W |
RWH-532HPⅡ | 532nm | 2%~96% | Φ11mm | 40mm | 8J/cm2(10ns10Hz) | 20W |
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