固体レーザ用ミラー

高耐力、高安定、低損失

固体レーザ用ミラーに要求される「高耐力」、「高安定」、「低損失」という各要素を、お客様の用途に合わせて製作されるミラーです。
光学薄膜の損傷閾値は、膜物質だけではなく成膜方法や成膜条件に強く依存するため、成膜条件の最適化は極めて重要です。1980年代初頭に慣性核融合研究に供するための高耐力レーザミラーの開発に着手し、30年以上に渡り、改良を積み上げてきた成膜条件こそが、当社のレーザミラーの強みとなっています。IADやIBSDなどの成膜装置をいち早く導入するとともに、ダメージテストによる耐光性評価やキャビティーリングダウンによる損失測定など、社内の計測設備も充実しています。真空紫外(VUV)から中赤外(MIR)まで、あらゆる固体レーザ用のミラーの製作実績があります。

主な特徴

高いレーザ耐力: レーザ損傷閾値＞20J／cm² ＠1064nm,1ns
優れた安定性: 透過率変動率200ppm/℃、
スペクトルシフト率20ppm/℃
（イオンアシスト蒸着による）
低い光学損失: R＞99.998％＠1064nm、低吸収と低散乱

京セラＳＯＣは高耐力化を図るだけではなく、安定性の追求にも力を注いでいます。「温度変化に対して安定なコ－ティングは、レーザ耐力が低い」という常識を破り、透過率の変動率（ΔT/T₀）を従来製品の1/5以下に抑えたkW級高出力レーザ用ミラ－を完成。この他にも、あらゆるご要望に合わせて最適なプロセスを選択し、高品質な固体レーザ用ミラーをご提供します。