UV, DUV集光レンズ（355nm, 266nm, 248nm）

355nm, 266nm集光レンズ

特徴

• 加工時のスパッタ対策として交換可能なウィンドウを標準装備し、ウィンドウの厚みを選択することでガラス内部のマイクロ加工が行えます。
• THP6-8, FHP6-8は集光スポット径が小さいので、マイクロ加工に最適です。

仕様

	THP6-8	FHP6-8	THP50-20	FHP50-20	THP80-20	FHP80-20
波長	355nm	266nm	355nm	266nm	355nm	266nm
開口数（NA）	0.6		0.2		0.125
焦点距離	6.22mm		50mm		80mm
加工範囲	Φ0.01mm		Φ0.5mm		Φ0.8mm
集光スポット径	≦Φ1μm		―		ー
作動距離（WD）	3.3mm		45mm		73mm
取り付けネジ	W20.32x36山/in		M34xP0.75		M34xP0.75
ウィンドウ	有/交換可		なし		なし

外形寸法図

 
THP6-8, FHP6-8

THP50-20, 80-20
FHP50-20, 80-20

248nm集光レンズ

特徴

• エキシマレーザー（248nm）およびFHG-YAGレーザー（266nm）と可視光（480nm～650nm）の色消しにより、加工点の同時観察が可能です。
• 顕微鏡に取付けるだけで、容易に加工が出来ます。
• リレーレンズとの組合せにより、マスクイメージング倍率が可変出来ます。

仕様

	KVH20-8	KVH40-9.6	KV100-25	KV200-25
波長	248nm,266nm, 480～650nm		248nm, 480～650nm	248nm, 480～651nm
開口数(NA)	0.2	0.12	0.125	0.06
焦点距離	20mm	40mm	100mm	200mm
加工範囲	Φ0.5mm	Φ2mm	Φ2mm	Φ4mm
加工分解能	1μm	2μm	3μm	―
作動距離(WD)	10.2mm	24mm	70mm	192mm
取付ネジ	W26×36山/in	W26×36山/in	M32×0.75	M32×0.75
ウィンドウ	有/交換可	有/交換可	無	無

外形寸法図

KVH20-8

KVH40-9.6

KV100-25

適用リレーレンズによるマスクイメージング倍率

		リレーレンズ
		KH200 R-22	KH400 R-22	K400 R-36	K600 R-36	K800 R-36
集光レンズ	KVH20-8	1/10	1/20	ー	ー	ー
	KVH40-9.6	1/5	1/10	ー	ー	ー
	KV100-25	ー	ー	1/4	1/6	1/8

カタログダウンロード

レーザー加工用355nm, 266nm集光レンズ(pdf, 489KB)
エキシマレーザー加工用対物レンズ (pdf, 423KB)