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特殊レンズ（大口径・非球面）

• 高精度大口径レンズ
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• マスク・ウェハ検査用対物レンズ
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生物顕微鏡用対物レンズ

• 長作動距離液浸対物レンズ
• カスタム対物レンズ

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集光レンズ

• UV, DUV集光レンズ（355nm, 266nm, 248nm）

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• バリアブル･アッテネータ

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