エキシマレーザ用ミラー
低損失かつ高耐力
高精度に研磨された合成石英、フッ化カルシウム、フッ化マグネシウムの基板上に、主として、フッ化物膜多層膜による低損失かつ高耐力なミラーコートを施しています。耐光強度や反射率、耐環境性などを考慮し、最適な膜設計でご提案させていただきます。
ArFレーザ(193nm)、KrFレーザ(248nm)、XeClレーザ(308nm)、XeFレーザ(352nm)の各波長に対応させていただきます。
通常のレーザーミラーのほか、KrFレーザよりも長い波長では、エッチング技術により多層膜ミラーをパターニングした高耐力フォトマスクも承っております。
主な特徴
- 高いレーザ耐力
- 世界最高水準KrFレーザミラー
28J／cm2 ＠248nm,15ns
（レーザコンディショニング） - 低い光学損失
- R＞99.98％ ＠1064nm、低吸収と低散乱
京セラＳＯＣは、1970年代からエキシマレーザ用コ－ティングの開発に取り組んでいます。妥協することなくナンバ－ワンを追求する研究開発により、高耐力エキシマレーザ用ミラ－を完成。193nmから352nmまで、高出力エキシマレーザに対応可能な技術力をもとに、お客様の多様なニ－ズに柔軟にお応えします。
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